光刻机是做什么用的?
光刻机是利用光进行雕刻的机器,用来达到光刻胶光蚀的目的。因此,光刻机就是通过透镜将大的电路图缩小到芯片大小,然后用光对光刻胶进行腐蚀,达到自动形成电路的目的。
光刻机是一台非常复杂的机器。目前实力强大的光刻机厂商是荷兰的ASML。他们现在能够生产5nm电路光刻机。 .
光刻机的分类
光刻机按照操作的简单程度一般分为手动、半自动、全自动三种。
手动:指对中调整方式,是通过手动调整旋钮改变其X轴、Y轴和thita角来完成对中,对中精度不高。
半自动:是指可以通过电动轴根据CCD的定位来调整对中。
全自动:指从基板上料,曝光时间和周期均由程序控制,全自动光刻机主要满足工厂对加工能力的需求。
光刻机是做什么用的?
光刻机(Mask Aligner)又称:掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片核心设备。它采用类似照相印刷的技术,通过曝光将光罩上的精细图案印刷到硅片上。
光刻机按照操作的简单程度一般分为手动、半自动、全自动三种
手动:指的是对位调整方式,即手动调节旋钮改变它的X轴、Y轴和thita角来完成对位,对位精度并没有想象的那么高。
B半自动:是指可以通过电动轴根据CCD的位置来调整对中。
C自动:指从基板上片,曝光时间和周期由程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对加工能力的需要。
关于什么是光刻机以及专业学习什么是光刻机的介绍到此结束,感谢大家的支持!
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